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                酸碱类
                品名 英文名 分子式 级别
                SL UL VL(CMOS) EL
                过氧化氢 Hydrogen Peroxide,30% H2O2
                硫酸 Sulfuric Acid H2SO4
                盐酸 Hydrochloric Acid HCL
                硝酸 Nitric Acid,70% HNO3
                发烟硝酸 Nitric Acid Fuming HNO3
                磷酸 Phosphoric Acid H3PO4
                氢氟酸 Hydrofluoric Acid HF
                冰乙酸 Acetic Acid,Glacial CH3COOH
                氨水 Ammonium Hydroxide NH3·H2O
                氟化铵 Ammonium Fluoride,40% NH4F
                氢氧∑ 化钾溶液 Potassium Hydroxide Liquid KOH
                C-400胆碱清洗剂 Choline Hydroxide C5H15NO2
                氢氧化钠溶液 Sodium Hydroxide Liquid NaOH
                蚀刻液
                品名 英文名 分子式 级别
                SL UL VL(CMOS) EL
                氟化铵腐蚀液(BOE) Ammonium Fluoride Etchant NH4F·HF
                氟化铵腐蚀液(BOES) Ammonium Fluoride Etchant(with Surfactant) NH4F·HF
                铝蚀刻液 Aluminum Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                钼蚀刻液 Mo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                钼铝/钼铝钼蚀刻液 MoAl/MoAlMo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
                硅蚀刻液(MAE) Silicon Etchant HNO3·HF·CH3COOH
                金蚀刻液 Au Etchant KI
                银蚀刻液 Ag Etchant H3PO4·HNO3  

                钛蚀刻液

                Ti Etchant HF
                铬蚀刻液 Cr Etchant HNO3CAN    
                酸性剥离液(AP-2X) Nanostrip 2XP H2SO5  
                氢氟酸腐蚀液DHF Hydrofluoric Acid(with Surfactant) HF
                ITO蚀刻液(王水) ITO Etchant HNO3·HCI    
                ITO蚀刻液(草酸) ITO Etchant H2C2O4    
                ITO蚀刻液(FeCl3) ITO Etchant FeCl3·HCl
                溶剂
                品名 英文名 分子式 级别
                SL UL VL(CMOS) EL
                甲醇 Methanol CH3OH
                乙醇 Ethanol C2H5OH
                异丙醇 IPA CH3CHOHCH3
                丙酮 Acetone (CH3)2CO
                醋酸丁酯 n-Butyl Acetate C6H12O2
                甲苯 Toluene C6H5CH3
                二甲苯 Xylenes C8H10
                三氯乙烯 Trichloroethylene C2HCl3
                环已烷 Cyclohexane C6H12
                N-甲基吡咯烷酮 N-methyl-2-pyrrolidinone CH3N(CH2)3CO
                丙二醇单︼甲醚 PGME PGME
                丙二醇单甲醚醋酸酯 PGMEA PGMEA
                EL级:优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金〓属元素控制在100PPb。
                VL级:介于EL与UL之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元〓素,单项金属元素控制在10~100PPb。
                UL级:等同于美国SEME C7标准,控制0.5、0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素☉,单项金属元素控制在10PPb以下。
                SL级:等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。
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